阿贝误差的解决途径

阿贝误差的解决途径

利用阿贝误差的对称性等性质，运用非接触式、小位移、电容性的传感器(124、128、130、131、132)以决定归由于一接近线性机械级(56、58)的俯仰(20)、偏航(22)、或滚转(18)所引起的阿贝(Abbe)误差，其未被诸如线性比例编码器或激光干涉计的一轴上位置指示器所指出。此系统以精密参考标准所校准，以使该校正仅取决于传感器读数的小改变而与传感器读数的绝对准确度无关。虽然本发明较佳为使用于具有惯性分离级(56、58)的分裂轴定位系统(50)，本发明亦可使用于典型的分裂轴或叠层级系统以降低其制造成本。